진공 트라이보메타 MVT-2

Multi Function Vacuum Tribometer


왜 진공 트라이보메타인가? 

우주, 반도체, 항공우주 및 박막 분야의 발전으로 인해 진공 상태에서 소재 및 코팅 특성에 대한 다양한 연구가 이루어지고 있습니다. 진공 상태에서의 표면 마찰, 마모 및 접착은 주변 조건과는 매우 다릅니다. 차세대의 진공 호환 부품 및 소재를 개발하기 위해서는 실제 응용 분야에 유사한 조건에서 테스트해야 합니다.


Rtec 진공 트라이보메타 MVT-2는 진공 조건에서의 소재 특성을 분석하기 위한 광범위한 힘, 속도 및 온도 범위를 제공합니다. 특허받은 힘 센서가 장착된 독창적인 플랫폼으로 높은 정확도와 반복성을 갖춘 데이터를 도출합니다. 오픈형 플랫폼은 시료를 교체하는 동안 챔버 전체를 완전히 볼 수 있습니다. 핀 온 디스크(Pin-on-disc), 핀 온 볼(Pin-on-ball), 선형 왕복 테스트와 같은 다양한 일반적인 마찰 윤활 및 마모 시험을 수행할 수 있으며, 동일한 플랫폼에서 압흔스크래치 및 트라이볼로지 테스트를 수행할 수 있습니다. 진공 트라이보메타는 다양한 구성으로 제공됩니다. 

•  10⁻⁷ Torr 진공

•  온도 범위 : 최대 400°C(1000°C) 

•  mN ~ 200N 마찰 및 하항력

•  -150°C에서 극저온 냉각

•  교환 가능한 트라이보메타, 경도 및 스크래치 모듈

진공 트라이보메타 기능

진공 트라이보메타는 동일한 플랫폼에서 여러 테스트 조건을 실행할 수 있는 유일한 상용 트라이보메타로 다양한 주요 설계 기능을 갖추고 있습니다.


특허 받은 힘 센서

정전식 센서는 고진공 범위에서 흔들림이나 탈기체 없이 작동합니다.

극저온에서 고온까지 온도 제어

폐루프 온도 컨트롤러. 최대 -150°C 질소 극저온 냉각 챔버. 표준 400°C 또는 고출력 1000°C 가열 챔버가 장착되어 있습니다.

폐루프 힘 제어

테스트 중 실시간 폐루프 힘 제어.  이를 통해 자동 마찰 대 하중 및 속도 곡선을 생성할 수 있습니다.

빠른 진공 도달

45분 안에 10⁻⁷ 토르 진공에 도달하며, 러프 및 터보 분자 펌프가 통합되어 있습니다.  

회전 및 선형 모드

회전 속도 최대 5000RPM, 선형 속도 최대 6mm/s. 정밀한 동작을 위한 추가 피에조 구동방식입니다.

다양한 애플리케이션 모듈

동일한 플랫폼에서 스크래치, 압흔 및 마찰 테스트를 수행할 수 있습니다.

Environmental Control


마찰 계수와 마모는 환경 조건에 따라 크게 달라지며, 따라서 테스트는 실제 응용 조건과 유사한 조건에서 이루어져야 합니다. 

MVT-2는 동일한 설정에서 온도를 -120°C ~ 400°C까지 제어하는 고급 폐루프 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 테스트 중에도 온도가 자동으로 변경될 수 있습니다.

High Heat and Cryogenic

극저온부터 높은 폐루프 챔버까지 :  -150°C ~ 400°C(1000 °C)

Environmental Control

다양한 용도에 적합한 진공 또는 불활성 가스 분위기

Unmatched Load Cell Technology Capacitive

진공 트라이보미터 MVT-2는 특허받은 다차원 정전용량식 힘 센서가 장착되어 있습니다. 

고유한 감지 기술은 탁월한 안정성과 해상도를 제공하며, 넓은 부하 범위는 mN에서 200N까지 확장됩니다.



최고 해상도

테스트의 미세한 차이를 감지하는 높은 해상도

높은 안정성

장시간 작동 및 광범위한 테스트 조건에서 무시할 수 있는 수준의 편차 발생

높은 신뢰성

추적 가능한 표준에 따라 교정

광범위한 테스트 범위


2D Materials Test

2D재료, 얇은 코팅 등의 마찰 값을 확인하기 위한 회전식 구성입니다.

(나노 진공 마찰학)

Vacuum Grease Test

대량 재료 또는 윤활 표면의 마찰 값을 확인하기 위한 회전식 구성입니다. 

(마이크로, 매크로 진공 트라이보메타)

진공 트라이보메타 테스트 데이터


데이터는 진공 트라이보메타의 마찰 계수 결과를 보여줍니다. 

표면 처리는 두 개의 샘플에 대해 수행되었습니다.


샘플 1 - 플라즈마 산화물 처리.
샘플 2 - 산화규소 처리.

•  10N 힘

•  속도 4mm/s

•  0.1mm/s2의 가속도

•  10⁻⁶ Torr