Leading Tribology and Surface Inspection Products
Rtec은 표면 ・ 소재 분석의 혁신을 선도하는 글로벌리더로 종합 솔루션을 제공해 드립니다.
Leading Tribology and Surface Inspection Products
Rtec은 표면 ・ 소재 분석의 혁신을 선도하는 글로벌리더로 종합 솔루션을 제공해 드립니다.
TFT-1000
Spectral Film Thickness Tester
비접촉·비파괴 박막 두께 측정
TFT-1000™은 Spectral Reflectometry(분광 반사 측정법)를 이용하여 투명 및 반투명 박막의 두께를 비접촉·비파괴 방식으로 측정하는 시스템입니다. 박막의 두께, 굴절률(Refractive Index), 반사율(Reflectance), 투과율(Transmittance)을 분석할 수 있으며, 약 1 nm ~ 1800 μm의 폭넓은 두께 범위를 지원합니다. 별도의 시료 손상 없이 빠르고 정밀한 측정이 가능하여 연구개발부터 공정 모니터링, 생산 품질 관리까지 다양한 박막 분석 분야에 활용할 수 있습니다.
UV · Visible · NIR
파장 구성
측정 대상과 박막 특성에 따라 190 ~ 2500 nm 범위의 다양한 파장 구성을 선택할 수 있습니다. Standard, UV-Enhanced, Near-Infrared 등 박막의 재질, 두께 및 기판에 적합한 측정 환경을 구성할 수 있습니다.
500종 이상의
소재 라이브러리
산화물, 질화물, 포토레지스트, 폴리머, 반도체, 금속 박막, 광학 코팅 등 500종 이상의 소재 라이브러리를 제공합니다. 다양한 박막 소재의 광학 특성을 기반으로 효율적인 측정 및 분석이 가능합니다.
4 μm부터 지원하는
미세 영역 측정
대물렌즈에 따라 4 μm ~ 2 mm의 Spot Size를 지원합니다. 미세 패턴 웨이퍼부터 넓은 코팅 영역까지 시료의 크기와 특성에 맞춰 적합한 측정 영역을 선택할 수 있습니다.
정밀 측정 및
간편한 분석
고해상도 Spectrometer와 광원을 기반으로 정확하고 반복성 높은 비접촉 측정을 지원합니다. One-click 측정과 Spectral Fitting을 통해 두께, 굴절률, 반사율 및 투과율을 효율적으로 분석할 수 있습니다.
분광 반사 방식의 박막 두께 측정 원리
TFT-1000™은 Spectral Reflectance(분광 반사) 방식을 이용하여 투명 및 반투명 박막의 두께를 비접촉으로 측정합니다. 박막에 광원을 조사하면 일부 빛은 박막 표면에서 반사되고, 일부는 박막을 통과한 후 박막과 기판의 경계면에서 반사됩니다. 두 반사광이 서로 간섭하면서 박막의 두께와 광학 특성에 따른 고유한 간섭 스펙트럼이 형성됩니다. Spectrometer로 반사 스펙트럼을 측정한 후 분석 소프트웨어가 이를 광학 모델과 비교하여 박막의 두께와 굴절률 등의 광학 특성을 계산합니다. 비접촉·비파괴 방식으로 별도의 시료 전처리 없이 빠르게 측정할 수 있어 반도체 웨이퍼, 디스플레이, 광학 부품 및 다양한 코팅 박막의 연구·공정 관리·품질 평가에 활용할 수 있습니다.
적용 분야
단일층 및 다층 박막부터 투명·반투명 박막까지 다양한 소재에 적용할 수 있으며, 반도체 포토레지스트 및 유전체, 광학 코팅, AR/VR 디바이스, 의료용 코팅 및 디바이스 등에서 박막의 두께, 굴절률, 반사율 및 투과율을 분석할 수 있습니다.
Specifications
항목 | 사양 |
| 측정 파장 범위 | Standard: 300–1100 nm / UV-Enhanced: 190–1100 nm / Near-Infrared: 900–1750 nm / Extended Near-Infrared: 1000–2500 nm |
| 측정 정밀도 | nm 단위 |
| 소재 라이브러리 | 500종 이상 |
※ 측정 대상 및 용도에 따라 맞춤형 파장 구성(Custom Wavelength Configuration)이 가능합니다.
