3D 광학 형상측정기


고해상도 자동 프로파일 측정 및 분석 기능을 갖춘 고급 모듈형 소형 3D 광학 형상측정기로, 모든 재료의 거칠기, 질감, 형상, 두께 등을 측정합니다.

UP-5000

공초점 현미경 + 간섭계 + AFM, 라만, 스펙트럼 필름 두께 등

UP-3000

공초점 현미경 + 간섭계 + 암시야 이미징 등

UP-2000

백색광 간섭계

고속 분석

고속 스캐닝을 위한 200FPS의 업계 최고의 고해상도 카메라입니다.

최고 Z 해상도

최첨단 인코더는 스캐닝 거리와 관계없이 가장 높은 Z 해상도를 제공합니다.

다목적 플랫폼

오픈 프레임 디자인과 사용자 맞춤형 XY 스테이지를 갖추고 있습니다. 

강력한 소프트웨어

정확하고, 사용하기 쉽고, 자동 동작하며 정량분석이 가능한 ISO 부합 소프트웨어.

왜 3D 광학 형상측정기를 사용해야 할까요?


혁신적인 표면 프로파일링을 통해 어떤 표면도 쉽게 분석 가능 하며, 단일 플랫폼에서 이미지를 확대하고 nm에서 mm까지의 프로파일 측정 기능을 측정합니다. 그 결과 광학 시스템은 단 한 번의 클릭으로 원자 구조를 조사하며, 거칠기, 표면굴곡, 필름 두께 및 화학적 특성 지도를 측정합니다. 이러한 종합적인 표면 프로파일링 접근 방식은 업계 최초입니다.

모든 샘플 및 상황에 대한 표면 분석

스크래치 데이터의 분석 및 상관 관계 검증



나노미터 이하의 3D 기능

3D 형상 측정기는 거칠거나 투명하거나 매끄러운 표면의 nm 특징을 분석합니다. 가장 높은 Z 및 XY 광학 프로파일링 해상도를 제공하고, 동일한 플랫폼에서 공초점 현미경과 백색광 간섭계도 제공합니다.



이크로 유체 채널

투명코팅

폴리머 코팅


웨이퍼 및 반도체

300×300mm까지의 스테이지를 통해 전체 웨이퍼, 장치 및 박막을 분석할 수 있습니다. 결함, 구조, 단차, 두께, 입자 등을 검사하고, 동일한 영역에 대해 AFM 및 3D 광학 형상측정기 데이터를 결합합니다.



특징

입자

웨이퍼


품질 관리

한 번의 클릭으로 균열과 결함을 찾아낼 수 있습니다. 3D 형상 측정기는 자동 보고서 및 합격/불합격 기준 분석을 제공하며, 연구 및 품질 관리 환경을 위한 솔루션입니다.




회전체

스크래치

압흔

3D 광학 형상측정기란 무엇인가요?


3D 광학 형상측정기는 3차원 표면 지형을 특성화합니다. 여러 표면 이미지를 광학적으로 캡처한 후, 현미경은 이미지를 XYZ 축으로 함께 연결합니다. 이 후, 데이터를 정량화하여 거칠기, 단차, 필름 두께, 곡률, 굴곡 및 결함이 계산되며, 이러한 기술은 2D 광학 현미경으로는 불가능합니다. 3D 광학 형상측정기는 이러한 기술을 조합하여 정량적 3D 표면특성을 제공합니다. 

What Is Nipkow Confocal Imaging?

Confocal microscopy은 비접촉 광학 이미징 기술입니다. 핀홀을 활용하여 표면 지형의 해상도와 대비를 높일 수 있습니다. 먼저, 이러한 핀홀은 이미지 스캔 중에 초점이 맞지 않는 빛을 차단후 백색광과 Nipkow Confocal microscopy이 매우 빠른 속도로 넓은 샘플 영역을 캡처하여 3차원 스캔을 생성합니다. 이러한 기능은 UP-5000 및 UP-3000 3D 광학 현미경에 탑재되어 있습니다.

What is Dark Field Imaging?

Dark Field 현미경은 일반적인 명시야 이미징 조건에서 이미지가 잘 나오지 않는 표본에서 고해상도 대비를 생성하는 기술입니다. 특별한 다크 필드 대물렌즈와 전용 조명 시스템을 사용하면 어두운 배경이 만들어집니다. 이는 표면 특징에 대해 높은 수준의 대비를 허용합니다. 


What Is A White Light Interferometer?

White light interferometry (WLI)은 비접촉 광학 방법입니다. WLI는 스캔 간섭계측법을 사용하여 표면 지형을 특성화합니다. 이 기술은 광선을 측정 광선과 기준 광선으로 분할후 이러한 광선들이 재결합되어 간섭 패턴을 생성하고 표면의 2D 및 3D 모델을 생성하기 위해 분석됩니다. UP-2000 WLI 광학 프로파일러미터는 이러한 기능을 전문으로 하고 있습니다.

What Is Variable Focus Imaging?

Variable Focus Imaging은 표면 이미지에 완전히 초점이 맞춰지는데 사용되는 이미징 기술입니다. 서로 다른 X, Y, Z 값에서 이미지를 캡처하여이어붙여 완전히 초점이 맞춰진 표면의 명시 프로파일을 만듭니다. 이 기술은 2D 및 3D 이미지 모두에 사용됩니다. 각각의 3D 형상 측정기는  선명한 이미징을 위해 가변 초점 이미징을 사용합니다.